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簡要描述:【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD梯度管式爐【爐管尺寸】φ25--φ120mm【加熱區(qū)】300mm+300mm 【額定溫度】1200℃【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
詳細(xì)介紹
品牌 | 三特爐業(yè) | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | 90/min |
---|---|---|---|
加熱方式 | 電阻式 | 控溫精度 | ±1℃ |
最高溫度 | 1200℃ | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD梯度管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm+300mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
1200℃-CVD梯度管式爐是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
爐外殼
1、外殼采用金屬Q235低碳鋼,表面靜電耐藥涂裝,抗腐蝕
2、 堅(jiān)固的雙層金屬框架配合隔熱風(fēng)扇結(jié)構(gòu),爐表面溫度低
3、水平使用方式,上開蓋結(jié)構(gòu),操作方便
耐火材料
多層隔熱設(shè)計(jì),由輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維和高品質(zhì)隔熱板背襯組成,不含石棉成分,熱損失小,能耗低
加熱系統(tǒng)
1、高品質(zhì)HRE螺旋電阻絲發(fā)熱體,牢固的鑲嵌在爐膛表面,在爐腔內(nèi)自由熱輻射加熱,使用壽命長
2、電阻絲環(huán)形加熱,從而實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)的良好均勻性
溫度控制面板
1、PID配合SSR控制方式,溫度控制準(zhǔn)確
2、國際標(biāo)準(zhǔn)化N型鎳鉻硅熱電偶,測溫范圍0-1300℃,使用壽命長
3、爐門帶有開門斷電保護(hù)開關(guān)
程序控制器
1、適應(yīng)復(fù)雜工藝需求的的控制器
2、操作簡單直接,編程靈活
3、可編程4條曲線,單條曲線8個(gè)程序段
4、超溫和故障報(bào)警,自動(dòng)進(jìn)行保護(hù)
真空氣氛功能
1、帶有304不銹鋼的密封法蘭,獲得爐管內(nèi)的真空或者氣氛
2、高品質(zhì)石英玻璃工作管,也可選擇金屬或剛玉材質(zhì)的工作管,從而適應(yīng)不同的工況
3、高性能雙極旋片真空泵,可獲得5pa的真空度,數(shù)字真空計(jì)可顯示真空度
4、帶有氣路控制單元,控制單元可選擇1-3路MFC自動(dòng)控制系統(tǒng)
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